12.2:刚性和柔性衬底上有源矩阵薄膜晶体管的溶液处理钝化层

基于有机硅氧烷的旋涂平面化电介质(PTS-E和PTS-R)被开发用于平板显示器,作为共形化学气相沉积SiNx的替代品。在此,我们成功地将硅氧烷基材料用作刚性和柔性衬底上有源矩阵α-Si薄膜晶体管(TFT)的钝化层。

文章地址:https://doi.org/10.1889/1.3069412

© 版权声明
THE END
喜欢就支持以下吧
点赞0
分享
评论 抢沙发