尺寸和位置控制的ZnO微纳米晶的图案化生长和转移

报道了一种可控制位置、取向、尺寸和形状的氧化锌晶体的制备和转移方法。该工艺使用氧等离子体处理和掺镁GaN衬底上的光刻胶图案相结合来定义100纳米尺度的窄形核区域和附着点。横向外延过度生长是在成核后产生单晶氧化锌,如图所示。

文章地址:https://doi.org/10.1002/adma.200703102

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