非晶态In-Zn-O透明导体的显著热稳定性

透明导电氧化物(TCO)是光伏电池、低辐射窗口、平板显示器、电致变色器件和柔性电子产品中越来越重要的组件。传统的tco,如Sn掺杂的In2O3,是单晶材料。在这里,我们报告了In-Zn-O(IZO),一种成分可调的非晶TCO,具有一些显著改善的特性。在100°C下,通过共溅射从分离的In2O3和ZnO靶向玻璃基板上沉积成分梯度薄膜样品。对于55–84阳离子%铟的金属成分范围,沉积的IZO薄膜为非晶态、光滑(RRMS < 0.4 )、导电(σ               3000   ,在可见光下透明(TVis > 90%)。此外,非晶态IZO薄膜在空气或氩气中加热至600℃时,显示出显著的功能和结构稳定性。因此,尽管目前尚未完全理解,但这些非晶态材料构成了一类新的具有根本意义和技术重要性的高性能透明导体。

文章地址:https://doi.org/10.1002/adfm.200700604

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