嵌段共聚物等离子体浸没离子注入法制备纳米碳化薄膜

我们提出了一种利用离子束处理自组装嵌段共聚物前驱体制备高度有序碳化纳米结构薄膜的新方法。用20kev氮离子处理70nm厚多孔聚苯乙烯嵌段聚(4-乙烯基吡啶)组件,用1015–1016离子···−cm−2的注量处理。经FTIR和显微拉曼光谱证实,所得35nm厚的薄膜几乎完全碳化,并保留了六边形的纳米形貌。该薄膜机械性能稳定,在高温下稳定,非常适合作为超滤膜、量子点或单分子载体、纳米光刻掩模等应用。由于离子束曝光,薄膜的碳化发生在远低于热解碳化所需的温度下。

文章地址:https://doi.org/10.1002/ppap.200700111

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